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文献
J-GLOBAL ID:200902000154607970   整理番号:90A0919443

RTN-TiNバリヤメタルを用いた場合のN+,P+接合の熱処理安定性

Thermal stability of N+ P+ junction for Al-Si/RTN-TiN structure.
著者 (3件):
資料名:
巻: 51st  号:ページ: 559  発行年: 1990年09月 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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タイトルに関連する用語
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