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J-GLOBAL ID:200902000167471910   整理番号:91A0151182

Bonding techniques on microsystem in cryogenics and microelectronic engineering.

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資料名:
ページ: 407-412  発行年: 1990年 
JST資料番号: K19901062  ISBN: 3-540-53025-8  資料種別: 会議録 (C)
発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)

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