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文献
J-GLOBAL ID:200902000170182660   整理番号:85A0358224

光学的方法による微細粗面化永久レジスト

Microroughening permanent resist by a photo method.
著者 (2件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 3586  発行年: 1984年11月 
JST資料番号: E0292B  ISSN: 0018-8689  CODEN: IBMTA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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回路の線と同時に露光して,ボンディング性を改善するための標記...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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