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J-GLOBAL ID：200902000170288744   整理番号：91A0950105

アークイオンプレーティング(AIP)法によるTiN薄膜の残留応力と機械的特性について

Residual stress and mechanical property of a TiN thin film according to the arc ion plating (AIP).

著者 (3件)： 木戸利也 (神戸製鋼所) ,  玉垣浩 (神戸製鋼所) ,  辻邦彦 (神戸製鋼所)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 84th  ページ： 88-89  発行年： 1991年10月 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： イオンめっき ,...

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分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (6件)： アークイオンプレーティング ,  AIP ,  法 ,  TiN薄膜 ,  残留応力 ,  機械的特性