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J-GLOBAL ID：200902000173943255   整理番号：91A0247837

パルスイオン注入装置によって誘起される残留変形のホログラフィー研究

Holographic investigation of residual deformations induced by a pulsed ion implanter.

著者 (4件)： KAUFMANN G H (UNR, Rosario, ARG) ,  FEUGEAS J N (UNR, Rosario, ARG) ,  MARINO B (UNR, Rosario, ARG) ,  GALIZZI G E (UNR, Rosario, ARG)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 30  号： 1  ページ： 85-89  発行年： 1991年01月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマフォーカス装置によって窒素注入試料中に誘起される残留...

シソーラス用語： イオン注入 ,...

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分類 (3件)： 非破壊試験  (HB02030F) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  ホログラフィーの応用  (BD03074U)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルス ,  イオン注入装置 ,  誘起 ,  残留変形 ,  ホログラフィー ,  研究