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文献J-GLOBAL ID:200902001843992437整理番号:89A0477127

Precision ellipsometry based on a focused light beam. 2. Analysis of sensitivity.

集束光ビームによる正確な楕円偏光解析法 2 感度解析

著者:BARSUKOV D O、GUSAKOV G M、KOMARNITSKII A A
資料名:Opt Spectrosc 巻:65 号:2 ページ:237-240
発行年:1988年08月
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