圧電素子を用いたステップ方式による微小位置決め装置

文献

J-GLOBAL ID：200902001846985423 整理番号：89A0127162

Micro-positioning device by a step system using a piezoelectric device.

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資料名：
巻： 1988 号： Autumn 1 ページ： 139-140 発行年： 1988年10月
JST資料番号： Y0914A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

試作した装置は電磁石による接触式のクランプ装置を用いているが...

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電気式制御機器

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