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文献
J-GLOBAL ID:200902001860919964   整理番号:84A0067765

縮小CMOS用カウンタドープウエル構造

Counterdoped well structure for scaled CMOS.
著者 (4件):
資料名:
巻: 1982  ページ: 470-473  発行年: 1982年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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P形ウエルにりんイオンをドープし部分的に濃度を補償することに...
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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