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J-GLOBAL ID:200902001871968525   整理番号:88A0086567

超精密加工をおこなう施設環境

Environmental facilities for ultraprecision machining.
著者 (1件):
資料名:
巻: 946th  ページ: 54-58  発行年: 1987年10月 
JST資料番号: X0584A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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