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J-GLOBAL ID：200902001878145940   整理番号：92A0002874

Gettering of Cu at buried damage layers made by Si self implantation.

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著者 (4件)：
LIEFTING J R

LIEFTING J R について

(FOM Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)

FOM Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD について

, 
SCHREUTELKAMP R J

SCHREUTELKAMP R J について

(FOM Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)

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LU W X

LU W X について

(FOM Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)

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, 
SARIS F W

SARIS F W について

(FOM Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)

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資料名：
Beam-Solid Interactions: Physical Phenomena  (Beam-Solid Interactions: Physical Phenomena)

Beam-Solid Interactions: Physical Phenomena について


ページ： 641-646  発行年： 1990年 
JST資料番号： K19910616  ISBN： 1-55899-045-3  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (2件)：
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Cu

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Si

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