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J-GLOBAL ID：200902001881741316   整理番号：86A0517771

最近の電子材料 V 超硬・超耐熱電子材料 遷移金属・炭化物・窒化物・二ほう化物

Electric refractory materials. Transition metal carbides, nitrides and diborides.

著者 (1件)： 熊代幸伸 (電総研)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 37  号： 11  ページ： 916-923  発行年： 1986年11月 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超LSI製造用電子放射材料の開発における仕事関数の簡便な近似...

シソーラス用語： 超LSI ,...

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分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子材料 ,  遷移金属 ,  炭化物 ,  窒化物 ,  ほう化物