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J-GLOBAL ID：200902001886929526   整理番号：87A0438423

蒸気相からのフィルム成長の際のイオン/表面相互作用と光誘起反応の役割

The role of ion/surface interactions and photo-induced reactions during film growth from the vapor phase.

著者 (6件)： GREENE J E (Univ. Illinois, IL, USA) ,  MOTOOKA T (Univ. Illinois, IL, USA) ,  SUNDGREN J-E (Univ. Illinois, IL, USA) ,  LUBBEN D (Univ. Illinois, IL, USA) ,  GORBATKIN S (Univ. Illinois, IL, USA) ,  BARNETT S A (Univ. Illinois, IL, USA)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 27  号： 1  ページ： 226-242  発行年： 1987年06月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 蒸気相結晶成長中の低エネルギー(<100eV)イオン/表面相...

シソーラス用語： 蒸着膜 ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 蒸気相 ,  フィルム成長 ,  イオン ,  相互作用 ,  光誘起 ,  役割