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J-GLOBAL ID:200902001909053550   整理番号:84A0382245

歩留り問題を早期に予測する高温ウエハプローバ

High-temperature wafer prober predicts yield problems early.
著者 (1件):
資料名:
巻: 57  号:ページ: 141-144  発行年: 1984年05月03日 
JST資料番号: B0455B  ISSN: 0013-5070  CODEN: ELECA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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通常は最終検査で実施する高温の動的検査を,スクライブする前の...
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分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
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