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J-GLOBAL ID:200902001911239793   整理番号:91A0827902

超潤滑,無摩耗がターゲット マイクロメカトロニクスとは何か,どのように発展するか

Targets are super lubrication and non-wear.What is micro mechatronics and how is this field of study carried out?
著者 (1件):
資料名:
号: 49  ページ: 25-31  発行年: 1991年09月 
JST資料番号: L0218A  ISSN: 0914-6121  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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マクロな機械の超小形版と,ICプロセスから派生したマイクロフ...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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