1/2ミクロン素子の電子ビーム近接印刷

MEISSNER K; HAUG W; SILVERMAN S; SONCHIK S

文献

J-GLOBAL ID：200902001912311463 整理番号：90A0237001

1/2ミクロン素子の電子ビーム近接印刷

Electron-beam proximity printing of half-micron devices.

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資料名：
巻： 7 号： 6 ページ： 1443-1447 発行年： 1989年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

陰影投影による標記近接印刷法を開発。パターンの重ね合わせ誤差...

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固体デバイス製造技術一般

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