COBURN J W について
IBM Almaden Research Center, CA, USA について
WINTERS H F について
IBM Almaden Research Center, CA, USA について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
イオン照射 について
四ふっ化炭素 について
イオンとの相互作用 について
シリコン について
ふっ素化 について
高エネルギー について
イオン衝撃 について
役割 について