MAYER T M について
IBM, New York について
HARPER J M E について
IBM, New York について
CUOMO J J について
IBM, New York について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
プラズマ加工 について
酸化物薄膜 について
スパッタリング について
スパッタリング について
限界 について
銅 について
シリコン について
反応性スパッタリング について