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J-GLOBAL ID:200902001920963313   整理番号:81A0049181

電子ビームリソグラフィーで作った薄膜Nbマイクロブリッジの特性

Characteristics of Nb thin film microbridges fabricated by electron-beam lithography.
著者 (4件):
資料名:
巻: 30  号: 1551-1582  ページ: 491-495  発行年: 1980年10月 
JST資料番号: G0635A  ISSN: 0030-6177  CODEN: TROUA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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Si基板上にサブミクロンのNbマイクロブリッジを電子ビームリ...
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