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文献
J-GLOBAL ID:200902001923311228   整理番号:89A0569399

広帯域ArFエキシマレーザ放射に対するO2,NH3およびH2Oの高温での吸収係数

High temperature absorption coefficients of O2, NH3 and H2O for broadband ArF excimer laser radiation.
著者 (4件):
資料名:
巻: 42  号:ページ: 267-278  発行年: 1989年10月 
JST資料番号: H0072A  ISSN: 0022-4073  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
分類
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無機化合物の可視・紫外スペクトル(分子) 

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