超先端加工システム技術特集 大電流金属イオンビーム引出し

井内裕; 山下貴敏; 藤原修一; 松田恭博; 稲実宏; 松永幸二; 松田耕自

文献

J-GLOBAL ID：200902001949229694 整理番号：91A0948420

超先端加工システム技術特集大電流金属イオンビーム引出し

Special Edition-Advanced Material-Processing and Machining Technology. Extraction of High Current Metal Ion Beams.

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資料名：
巻： 36 号： 3 ページ： 26-37 発行年： 1991年10月
JST資料番号： S0817B ISSN： 0549-5377 CODEN： NIDGA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

多極磁場型イオン源を改良した高温金属イオン源からのイオン引出...

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電子源,イオン源

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