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J-GLOBAL ID：200902001950246098   整理番号：91A0565924

表面波プラズマの発生とその応用

Production and Application of Surface-Wave-Produced Plasmas.
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著者 (2件)：
小町恭一

小町恭一 について

(住友金属工業)

住友金属工業 について

, 
小林純夫

小林純夫 について

(住友金属工業)

住友金属工業 について


資料名：
住友金属  (Sumitomo Metals)

住友金属 について


巻： 43  号： 4  ページ： 50-57  発行年： 1991年05月 
JST資料番号： F0317A  ISSN： 0371-411X  CODEN： SUKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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誘電体線路上の表面波を利用した新しいマイクロ波プラズマ装置を...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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プラズマ生成

プラズマ生成 について

,...
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分類 (2件)：
分類
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プラズマ生成・加熱 
(BJ02060E)

プラズマ生成・加熱 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
表面波プラズマ

表面波プラズマ について

, 
応用

応用 について


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