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J-GLOBAL ID：200902001951116279   整理番号：91A0242556

シリコン上のAu/Pd/Ti,Au/Pd/Cr/Ti薄膜における拡散

Исследование диффузии в тонких пленках Au/Pd/Ti,Au/Pd/Cr/Ti на кремнии.
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著者 (6件)：
МАКОГОН Ю Н

МАКОГОН Ю Н について

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СИДОРЕНКО С И

СИДОРЕНКО С И について

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БАЗАРНЫЙ Ю А

БАЗАРНЫЙ Ю А について

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БОЛТОВЕЦ Н С

БОЛТОВЕЦ Н С について

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ЛИТВИНОВА Т В

ЛИТВИНОВА Т В について

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ТКАЧЕНКО В Л

ТКАЧЕНКО В Л について


資料名：
Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Neorganicheskie Materialy  (Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Neorganicheskie Materialy)

Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Neorganicheskie Materialy について


巻： 26  号： 12  ページ： 2461-2466  発行年： 1990年12月 
JST資料番号： R0254A  CODEN： IVNMA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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X線回折,X線構造解析,2次イオン質量分析,電子顕微鏡および...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ケイ素

ケイ素 について

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分類 (1件)：
分類
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固体中の拡散一般 
(BL06021L)

固体中の拡散一般 について

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シリコン

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Au

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Pd

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Cr

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Ti薄膜

Ti薄膜 について

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拡散

拡散 について


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