文献
J-GLOBAL ID：200902001964500310
整理番号：93A0021077
MoS2スパッタ膜の潤滑特性(第1報) 膜性状・被膜寿命へのイオンボンバードの影響
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
1992-10
ページ：
135-136
発行年：
1992年09月
JST資料番号：
Y0047B
ISSN：
0919-6005
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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