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文献
J-GLOBAL ID:200902001968476783   整理番号:91A0441457

半導体加工用の温和なプレカーサ

Benign precursors for semiconductor processing.
著者 (3件):
資料名:
巻: 69  号:ページ: 101-112  発行年: 1990年11月 
JST資料番号: B0062A  ISSN: 8576-2324  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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各種半導体素子,ダイオードレーザ,LEDなどの製造において,...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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