磁気メディア生産用コバルト合金および炭素スパッタリングターゲットの特性の改善

文献

J-GLOBAL ID：200902001983257389 整理番号：90A0600409

Improvement on characteristics of cobalt alloy and carbon sputtering targets for magnetic media production.

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号： 8 ページ： 9-13 発行年： 1990年06月
JST資料番号： L0512A ISSN： 0913-4794 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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