天体物理と実験室に用いるX線/VUV透過回折格子

文献

J-GLOBAL ID：200902001990935678 整理番号：90A0324334

X-ray/VUV transmission gratings for astrophysical and laboratory applications.

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巻： 41 号： 1 ページ： 13-20 発行年： 1990年01月
JST資料番号： A0454B ISSN： 0031-8949 CODEN： PHSTBO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

ホログラフィックリソグラフィーによって幅0.2μm(5000...

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X線技術 , 固体デバイス製造技術一般

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