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文献J-GLOBAL ID:200902001999666076整理番号:89A0042381

Quantitative reflection high-energy electron diffraction measurements of surface roughness in GaAs(100).

GaAs(100)の表面粗さの定量的RHEED測定

著者:HELLER E J(Univ. Wisconsin‐Madison, WI, USA)、SAVAGE D E(Univ. Wisconsin‐Madison, WI, USA)、LAGALLY M G(Univ. Wisconsin‐Madison, WI, USA)
資料名:J Vac Sci Technol A 巻:6 号:3 Pt.2 ページ:1484-1485
発行年:1988年05月
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