GaAs(100)の表面粗さの定量的RHEED測定

HELLER E J; SAVAGE D E; LAGALLY M G

文献

J-GLOBAL ID：200902001999666076 整理番号：89A0042381

GaAs(100)の表面粗さの定量的RHEED測定

Quantitative reflection high-energy electron diffraction measurements of surface roughness in GaAs(100).

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巻： 6 号： 3 Pt.2 ページ： 1484-1485 発行年： 1988年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

種々の表面クリーニング処理を行った研磨GaAs(100)ウエ...

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半導体の表面構造 , 電子ビーム・イオンビームの応用

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