文献
J-GLOBAL ID:200902002013883186 整理番号:85A0052393
半導体の表面分析
Surface analysis of semiconductors.
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著者 (1件):
副島啓義
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資料名:
エレクトロニクス
エレクトロニクス について
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巻:
29
号:
12
ページ:
73-80
発行年:
1984年11月
JST資料番号:
F0037A
ISSN:
0421-3513
CODEN:
ERKTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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表面分析は通常,表面層の厚さÅ単位で表現する。真空中での固体...
シソーラス用語:
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