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J-GLOBAL ID:200902002019701853   整理番号:92A0680280

特集 ゾル-ゲル法応用技術と電気化学 3 ゾル-ゲル法によるエレクトロニクス用薄膜の作製と特性

Special Articles Sol-Gel Process in Electrochemistry. 3. Preparation and Properties of Thin Films for Electronics by the Sol-Gel Process.
著者 (2件):
資料名:
巻: 60  号:ページ: 765-770  発行年: 1992年09月 
JST資料番号: G0072A  ISSN: 1344-3542  CODEN: EECTFA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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金属アルコキシド,M(OR)n,がアル...
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分類 (3件):
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固-液界面  ,  セラミック・陶磁器の製造  ,  電気材料一般 

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