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文献J-GLOBAL ID:200902002019701853整理番号:92A0680280

特集 ゾル‐ゲル法応用技術と電気化学 3 ゾル‐ゲル法によるエレクトロニクス用薄膜の作製と特性

Special Articles Sol-Gel Process in Electrochemistry. 3. Preparation and Properties of Thin Films for Electronics by the Sol-Gel Process.

著者:峠登(大阪府大 工)、南努(大阪府大 工)
資料名:電気化学および工業物理化学 巻:60 号:9 ページ:765-770
発行年:1992年09月
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