Structure, characteristics, and the application of phosphorus doped hydrogenated microcrystalline silicon.

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J-GLOBAL ID：200902002023642519 整理番号：93A0757914

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ページ： 693-697 発行年： 1992年
JST資料番号： K19930411 ISBN： 1-55899-136-0 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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