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J-GLOBAL ID：200902002023846700   整理番号：91A0604171

計算機ホログラムCADシステムとレーザビームリソグラフィ

CAD system for CGHs and laser beam lithography.

著者 (5件)： GEISER M H (Univ. Tsukuba) ,  TIAN R L (Univ. Tsukuba) ,  TIAN X K (Univ. Tsukuba) ,  YATAGAI T (Univ. Tsukuba) ,  ONDA H (NTN Co., Ltd.)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 3  ページ： 845  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： 計算機ホログラム ,  CADシステム