文献

J-GLOBAL ID：200902002032617209   整理番号：91A0716059

薄膜のイオンクラスタビーム蒸着

Ion cluster beam deposition of thin films.

著者 (7件)： BROWN W L (AT&T Bell Lab., NJ, USA) ,  JARROLD M F (AT&T Bell Lab., NJ, USA) ,  MCEACHERN R L (AT&T Bell Lab., NJ, USA) ,  SOSNOWSKI M (New Jersey Inst. Technology, NJ, USA) ,  TAKAOKA G (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  USUI H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMADA I (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 59/60  号： Pt 1  ページ： 182-189  発行年： 1991年07月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンクラスタビーム(ICB)の現状をレビューした。ICBは...

シソーラス用語： 重イオン照射 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=91A0716059&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0899A") }}

分類 (1件)： 放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  イオン ,  クラスタビーム ,  蒸着