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J-GLOBAL ID：200902002032911450   整理番号：92A0431764

位相シフトマスクに於けるパターン寸法制御

Resist pattern deviation in Phase-shift Mask.

著者 (5件)： 安里直生 (日本電気) ,  岩崎治夫 (日本電気) ,  山下浩 (日本電気) ,  野末寛 (日本電気) ,  笠間邦彦 (日本電気)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 39th  号： Pt 2  ページ： 542  発行年： 1992年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： 位相シフトマスク ,  寸法制御