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J-GLOBAL ID：200902002045379676   整理番号：90A0858298

Fe-Y積層スパッタ膜の磁気特性

Magnetic properties of Fe-Y multilayered films prepared by RF sputtering.
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著者 (4件)：
OHTSU M

OHTSU M について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN について

, 
TANIMOTO H

TANIMOTO H について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN について

, 
HONDA S

HONDA S について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN について

, 
KUSUDA T

KUSUDA T について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN について


資料名：
イオン工学シンポジウム  (ISIAT)

イオン工学シンポジウム について


巻： 12th  ページ： 353-356  発行年： 1989年 
JST資料番号： Z0828A  ISSN： 0915-9096  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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RFマグネトロンスパッタによりFe-Y積層膜をガラス基板上に...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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マグネトロンスパッタリング

マグネトロンスパッタリング について

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分類 (2件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

,  線源,照射装置 
(MC01020V)

線源,照射装置 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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Fe

Fe について

, 
スパッタ膜

スパッタ膜 について

, 
磁気特性

磁気特性 について


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