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文献
J-GLOBAL ID:200902002068114971   整理番号:88A0454499

高周波による陽光柱プラズマの電子温度の脈動

Pulsation of electron temperature of the positive column plasma in high frequency glow discharge.
著者 (4件):
資料名:
巻: ED-88  号: 12-21  ページ: 79-87  発行年: 1988年03月17日 
JST資料番号: Z0911A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体プロセス用CVDに用いられる高周波グロー放電の放電条件...
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分類 (1件):
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気体放電 
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