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J-GLOBAL ID：200902002072254281   整理番号：92A0393711

脱イオン水の特性評価のための解析技術

Reviewing analytical techniques for the characterization of deionized water.

著者 (3件)： MARTYAK J E (IBM, NY) ,  CARMODY J C (IBM’s East Fishkill, NY) ,  LINDAHL A R (IBM’s East Fishkill, NY)
資料名： Microcontamination  (Microcontamination)
巻： 9  号： 2  ページ： 19-26  発行年： 1991年02月 
JST資料番号： D0679B  ISSN： 0738-713X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 脱イオン(DI)水の製造,配給や清浄化システムでは定常的ある...

シソーラス用語： 純水 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  水中の汚染物質の物理分析  (CC03080N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 脱イオン水 ,  特性評価 ,  解析