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J-GLOBAL ID:200902002076933760   整理番号:88A0177574

アルカリ溶液への吸収によるシランガスの除去 シランのアルカリ加水分解

Removal of silane gas by absorption into alkaline solutions: Alkaline hydrolysis of silane.
著者 (3件):
資料名:
巻: 57  号: 1/6  ページ: 95-104  発行年: 1987年07月 
JST資料番号: D0482A  ISSN: 0098-6445  CODEN: CEGCAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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気泡塔を用いた化学吸収法によりシランガスの加水分解の動力学的...
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