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文献J-GLOBAL ID:200902002079173643整理番号:86A0253791

A model for the bulk plasma in an RF chlorine discharge.

高周波(RF)塩素放電におけるバルクプラズマモデル

著者:ROGOFF G L(GTE Lab. Inc., MA)、KRAMER J M(GTE Lab. Inc., MA)、PIEJAK R B(GTE Lab. Inc., MA)
資料名:IEEE Trans Plasma Sci 巻:14 号:2 ページ:103-111
発行年:1986年04月
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