文献
J-GLOBAL ID:200902002081556100
整理番号:86A0033561
受容性不純物(ほう素)でイオン合金化したけい素の水蒸気中での熱酸化反応速度の特異性
Особенности кинетики термического окисления кремния, ионно-легированного акцепторной примесью (бором), в водяном паре.
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=86A0033561©=1") }}
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=86A0033561&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=R0136A") }}