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J-GLOBAL ID：200902002091972250   整理番号：95A0172274

Mechanism of photoacoustic laminated characterization of semiconductor wafers.

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著者 (2件)：
SHEN Y-C

SHEN Y-C について

(Nanjing Univ., Nanjing, CHN)

Nanjing Univ., Nanjing, CHN について

, 
ZHANG S-Y

ZHANG S-Y について

(Nanjing Univ., Nanjing, CHN)

Nanjing Univ., Nanjing, CHN について


資料名：
Proceedings. 14th International Congress on Acoustics, 1992, Vol.2  (Proceedings. 14th International Congress on Acoustics, 1992, Vol.2)

Proceedings. 14th International Congress on Acoustics, 1992, Vol.2 について


ページ： 119-120  発行年： 1992年 
JST資料番号： K19940918  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

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