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J-GLOBAL ID：200902002097680463   整理番号：83A0409848

結晶の形の測定から引き出された重さ-利得信号の解析 GaAsの直径制御

An analysis of the derivative weight-gain signal from measured crystal shape: Implications for diameter control of GaAs.

著者 (3件)： JORDAN A S (American Telephone and Telegraph Co.) ,  CARUSO R (American Telephone and Telegraph Co.) ,  Von NEIDA A R (American Telephone and Telegraph Co.)
資料名： Bell System Technical Journal  (Bell System Technical Journal)
巻： 62  号： 2 Pt 1  ページ： 477-498  発行年： 1983年02月 
JST資料番号： B0062A  ISSN： 0005-8580  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GaAsの溶液カプセル封じCzochralski(LEC)成...

シソーラス用語： ヒ化ガリウム ,...

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分類 (2件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 結晶 ,  形 ,  利得 ,  解析 ,  GaAs ,  直径