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J-GLOBAL ID：200902015475027824   整理番号：84A0194735

β-Nb₂N及びγ-Ta₂Nのヘテロエピタキシャル膜の結晶化と構造

Crystallization and structure of β-Nb₂N and γ-Ta₂N heteroepitaxial films.

著者 (3件)： DEMYASHEV G M (Inst. Physical Chemistry Academy of Sciences of the USSR) ,  TREGULOV V R (Inst. Physical Chemistry Academy of Sciences of the USSR) ,  CHUZHKO R K (Inst. Physical Chemistry Academy of Sciences of the USSR)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 63  号： 1  ページ： 135-144  発行年： 1983年09月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： NbCl₅(またはTaCl<sub>5...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...
準シソーラス用語： CSLモデル

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (1件)： 結晶化