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J-GLOBAL ID:200902015495605166   整理番号:93A0751776

Microstructure, optoelectronic properties and saturated defect density of a-Si:H prepared in VHF-glow discharge using Ar and Xe dilution.

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資料名:
ページ: 135-140  発行年: 1992年 
JST資料番号: K19930422  ISBN: 1-55899-153-0  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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