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文献
J-GLOBAL ID:200902015495774987   整理番号:86A0255402

GaAsのSIMS法と化学的試料調製による高感度不純物分析

Highly sensitive impurity analysis of GaAs using SIMS and chemical preparation.
著者 (2件):
資料名:
巻: 133  号:ページ: 416-420  発行年: 1986年02月 
JST資料番号: C0285A  ISSN: 1945-7111  CODEN: JESOAN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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LSIの性能に重要な影響を及ぼすGaAs中の超微量不純物(1...
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分類 (1件):
分類
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質量分析 

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