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文献J-GLOBAL ID:200902015497648571整理番号:90A0152838

Thermodynamic calculation of the two phased deposition domains with SiC in the Si-Ti-C-Cl-H chemical system.

Si‐Ti‐C‐Cl‐H系におけるSiCに関する二相蒸着領域の熱力学的計算

著者:TOUANEN M(I.M.P.‐C.N.R.S., Perpignan, FRA)、TEYSSANDIER F(I.M.P.‐C.N.R.S., Perpignan, FRA)、DUCARROIR M(I.M.P.‐C.N.R.S., Perpignan, FRA)
資料名:J Phys Colloq 巻:50 号:C5 Suppl 5 ページ:C5-105-C5-113
発行年:1989年05月
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