希薄CO/H2,CF4/H2,CH4/H2混合でのプラズマ増強化学蒸着で成長させたダイアモンド膜からの陰極線ルミネセンス

GRAHAM R J; POSTHILL J B; RUDDER R A; MARKUNAS R J

文献

J-GLOBAL ID：200902015510960857 整理番号：92A0000498

希薄CO/H₂,CF₄/H₂,CH₄/H₂混合でのプラズマ増強化学蒸着で成長させたダイアモンド膜からの陰極線ルミネセンス

Cathodoluminescence from diamond films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition in dilute CO/H₂, CF₄/H₂, and CH₄/H₂ mixtures.

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資料名：
巻： 59 号： 19 ページ： 2463-2465 発行年： 1991年11月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記プラズマCVDで成長させたダイアモンド膜を透過電顕内で陰...

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無機化合物のルミネセンス , その他の無機化合物の薄膜

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