Influence of passivation layer on aluminum fine-line in Si-LSI.

文献

J-GLOBAL ID：200902015517317593 整理番号：90A0610238

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ページ： 195-200 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900717 資料種別：会議録 (C)
発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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