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文献J-GLOBAL ID:200902015536243185整理番号:90A0416804

Особенности кристаллизации кремниевых слоев на теплоизолированных подложках при наносекундном лазерном воздействии.

熱絶縁下地上のけい素層のナノ秒レーザ光照射による結晶化の特徴

著者:БАТИЩЕ С А、ДЕМЧУК А В、КУЗЬМУК А А・・・
資料名:Dokl Akad Nauk BSSR 巻:33 号:12 ページ:1084-1086
発行年:1989年12月
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