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J-GLOBAL ID:200902015538097771   整理番号:83A0281890

レーザビーム蒸着法による多成分薄膜の性質

Properties of laser beam deposited thin polycomponent films.
著者 (4件):
資料名:
巻:号:ページ: 334-336  発行年: 1982年08月 
JST資料番号: D0919B  ISSN: 0261-8028  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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レーザ蒸着法による薄膜の膜厚,形態と構造,屈折率,赤外スペク...
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  酸化物薄膜 
タイトルに関連する用語 (4件):
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