同軸線路型MPCVD装置におけるN<sub>2</sub>/SiH<sub>4</sub>プラズマのプラズマパラメータの空間分布測定 (II)

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J-GLOBAL ID：200902015542354207 整理番号：92A0808912

同軸線路型MPCVD装置におけるN₂/SiH₄プラズマのプラズマパラメータの空間分布測定 (II)

Measurement of Plasma Parameters in N₂/SiH₄ Plasma of Coaxial Line Type MPCVD System. (II).

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資料名：
巻： 53rd 号： 1 ページ： 37 発行年： 1992年09月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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